| Код | Описание |
|---|---|
| 9027809900 | Приборы и аппаратура прочие |
| 9027809901 | Аппаратура для измерений физических свойств полупроводниковых материалов или нанесенных изолирующих и проводящих слоев в процессе изготовления полупроводниковых пластин |
| 9027809909 | Прочие приборы и аппаратура, прочие |