| Код | Описание |
|---|---|
| 8486209001 | Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электрон.интегр.схем с использованием светового или фотонного ,кроме лазер.излуч.,Используемого в производст.п/п приборов |
| 8486209002 | Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем для сухого травления рисунка на полупроводниковых материалах |
| 8486209003 | Машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем установки для удаления фоторезиста или очистки полупроводниковых пластин |
| 8486209004 | Машины гибочные, кромкогибочные, правильные (включая прессы), используемые в производстве полупроводниковых приборов |
| 8486209005 | Машины и аппаратура для производства п/п приборов или электронных интегр.схем: аппаратура для проецирования или нанесения рисунка маски на сенсибилизированные п/п материалы |
| 8486209009 | Машины и аппаратура для производства п/п приборов или электронных интегр.схем, прочие |